Fotolitografi

Fotolitografi, 200 mm çapa kadar alt tabakalar üzerinde yüksek çözünürlük ve tekrarlanabilirlik ile maskeler oluşturarak, optik biriktirme yüzeylerinin yerini belirlemeyi, şeffaf iletken oksitler ve kalibrasyon hedef noktaları için ağlar oluşturmayı mümkün kılar.