Fiziksel buharlı biriktirme ve plazma destekli kimyasal buharlı biriktirme (PVD ve PACVD), bir malzemenin işlenecek parçaların yüzeyine biriktirilmesini içeren çevre dostu vakum biriktirme teknolojileridir.
Aşağıdaki özelliklere sahip kaplamalar elde edilmesini sağlarlar:
Seçilmiş kaplamaya bağlı olarak işlenecek parçalara şu özellikleri verirler:
Bu proses, bir plazmanın oluşturulduğu vakumlu bir kapta uygulanır.
HEF, plazmalarını oluşturmak ve yüksek kaliteli katmanlar üretmek için başlıca şu 3 yöntemi kullanır:
PEMS® tribolojik kullanım için çok yoğun katmanların üretilmesine izin verir. Bu proses, daha özel olarak HEF tarafından düşük sürtünme katsayılı sert veya ekstra sert katmanlarının üretimi için kullanılır. Ayrıca, PEMS® uygulamaya uyması için biriktirmelerin sertliğini, yoğunluğunu ve direncini değiştirebilmeyi sağlar.
En yeni vakum teknolojisi ile CAM® son derece düşük sıcaklıkta sert ve çok düşük sürtünme katsayılı kaplamaların biriktirilmesine imkan veren gerçek bir gelişme sağlar.
Bu yöntem, bilinen ark buharlaştırma tekniğinde bir gelişmedir. Genellikle bu tip kaplama ile ilişkili damlacıkları önemli ölçüde azaltır.
Proseslerin bu kontrolü nedeniyle güçlü bir konumda bulunan HEF Grup, çok geniş bir ince tabaka uygulama alanını kapsayan bir kaplama serisini geliştirmiştir:
