Die Fotolithografie ist ein Fertigungsverfahren, bei dem mittels Fotomasken u. a. optische Beschichtungen aufgebracht oder Strukturen für TCO oder Kalibrierhilfen erzeugt werden, und zwar mit einer hohen Auflösung und Wiederholgenauigkeit auf Substraten mit bis zu 200 mm Durchmesser.

Dies ermöglicht die Herstellung von kompletten optischen Bauelementen.